滑架外罩有足夠剛性，降低引起的滑架振動(dòng)的幾率；外罩的裝配對(duì)平衡支架產(chǎn)生形變小進(jìn)而對(duì)機(jī)器精度影響甚微；減少螺釘?shù)氖褂?，方便拆裝外罩。

優(yōu)化結(jié)構(gòu)和材質(zhì)，提升剛性和穩(wěn)定性，嚴(yán)格執(zhí)行時(shí)效工藝，使平衡支架的焊接應(yīng)力，滑架鑄造應(yīng)力趨于平衡穩(wěn)定狀態(tài)。

結(jié)構(gòu)重心更低，機(jī)器穩(wěn)定性高；滑架和氣浮導(dǎo)向結(jié)構(gòu)緊湊，允許機(jī)器有較好的運(yùn)動(dòng)性能和較高的測(cè)量效率；三角梁的導(dǎo)向精度高，氣浮軸承的氣浮剛性穩(wěn)定；確保機(jī)器精度的一致性和穩(wěn)定性。

封閉框架確保了測(cè)量機(jī)的長久穩(wěn)定性。大剛性的導(dǎo)向軸可以保證在整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)機(jī)器精度的高度一致性。

移動(dòng)臺(tái)組件采用中心布置的絲杠驅(qū)動(dòng)，確保運(yùn)動(dòng)高效無扭擺傾斜。雙燕尾氣浮導(dǎo)軌，確保導(dǎo)向系統(tǒng)的高重復(fù)性和高精度穩(wěn)定性。

得益于花崗石的優(yōu)良特性，花崗石封閉框架結(jié)構(gòu)確保了測(cè)量機(jī)主體結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性；借助一整套加工檢驗(yàn)工裝，大大提高了三向氣浮導(dǎo)軌的研磨精度。

嚴(yán)格防范靜電干擾，所有金屬零部件接地；按照車間型的要求，改善電機(jī)軸承等熱源的隔熱和散熱條件；調(diào)整動(dòng)臺(tái)電機(jī)減速比，優(yōu)化電機(jī)的工作狀態(tài)；避免溫度傳感器暴露于外界環(huán)境；優(yōu)化標(biāo)準(zhǔn)掃描測(cè)力參數(shù)。

多楔帶平帶代替同步帶，消除傳動(dòng)中的周期振動(dòng)對(duì)機(jī)器的干擾；采用VFT技術(shù)，用彈性連接的方式，隔除帶的抖動(dòng)對(duì)機(jī)器的干擾。

允許被測(cè)工件可以不受限制的從各個(gè)方向放置到檢測(cè)平臺(tái)上。允許使用更長的測(cè)針或者加長桿，減少探針更換，測(cè)量空間的利用率高。

優(yōu)化提升傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和導(dǎo)向機(jī)構(gòu)的行走平行度，通過柔性二維滑臺(tái)連接驅(qū)動(dòng)動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)，有效釋放垂直于絲杠傳動(dòng)方向的位移量，確保機(jī)器兼具良好的加速性、定位精度以及優(yōu)異的掃描性能。

新型氣浮塊的氣浮剛性一致性高，結(jié)構(gòu)剛性好；精密減壓閥提供精準(zhǔn)穩(wěn)定的工作氣壓；葉型彈性板、新型碟簧確保提供給氣浮導(dǎo)向機(jī)構(gòu)平穩(wěn)的彈性預(yù)緊力。