產(chǎn)品簡述：采用近紅外 SLD，即使已貼附 BG 帶也可測量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于圖案而產(chǎn)生的顯著差異，也可實現(xiàn)準(zhǔn)確的生產(chǎn)線上測量。