采用了三重掃描方式，運用激光共聚焦、白光干涉、聚焦變化等三種不同的掃描原理，高倍率和低倍率，平面、凹凸表面的細微粗糙度，以及鏡面體，透明體等。VK擁有應(yīng)對多種樣品的測量能力（從 1 nm 到 50 mm），納米/微米/毫米一臺完成測量。